Патент на полезную модель № 142744

Полезная модель относится к измерительной технике, а именно к электростатическим фильтрам для линейного сканирования распределенных в пространстве потоков заряженных частиц, и может быть использована в энергоанализаторах и масс-анализаторах заряженных частиц высокой чувствительности, быстродействия и точности. Электростатический фильтр для линейного сканирования распределенных в пространстве потоков заряженных частиц содержит два разделенных зазором ряда цилиндрических электродов, оси которых параллельны между собой, расположены в одной плоскости и равноудалены друг от друга, при этом оси цилиндрических электродов первого ряда совпадают с осями цилиндрических электродов второго ряда, и три пары коллимирующих пластин, образующих зазор в каждой паре, и расположенных параллельно друг другу и плоскости расположения цилиндрических электродов, причем по одну сторону от цилиндрических электродов расположена одна пара коллимирующих пластин, через зазор в которой входит пучок заряженных частиц, а по другую сторону - две пары, через зазор в которых пучок выводится. Цилиндрические электроды соединены с источником отклоняющих электрических потенциалов, при этом отклоняющие потенциалы имеют одинаковую величину и противоположную полярность в каждом ряду электродов по обе стороны от формируемой области слабого рассеяния, причем к соосным электродам приложены отклоняющие потенциалы противоположной полярности. Фильтр позволяет обеспечить практически неограниченно узкую область сканирующего окна при сохранении однородного пропускания заряженных частиц по ширине зазора этой области, что приводит к увеличению пространственной разрешающей способности системы и ее пропускания.

Технический результат, достигаемый полезной моделью, заключается в повышении пространственной разрешающей способности фильтра без изменения относительного расположения рядов электродов и в увеличении пропускания фильтра.

Заявленный технический результат достигается в электростатическом фильтре для линейного сканирования распределенных в пространстве потоков заряженных частиц, содержащем два разделенных зазором ряда цилиндрических электродов, оси которых параллельны между собой, расположены в одной плоскости и равноудалены друг от друга, и три пары коллимирующих пластин, образующих зазор в каждой паре, и расположенных параллельно друг другу и плоскости расположения цилиндрических электродов, причем по одну сторону от цилиндрических электродов расположена одна пара коллимирующих пластин, через зазор в которой входит пучок заряженных частиц, а по другую сторону - две пары, через зазор в которых пучок выводится, при этом цилиндрические электроды соединены с источником отклоняющих электрических потенциалов, формирующих область слабого рассеяния, в котором, согласно полезной модели, оси цилиндрических электродов первого ряда совпадают с осями цилиндрических электродов второго ряда, отклоняющие потенциалы имеют одинаковую величину и противоположную полярность в каждом ряду электродов по обе стороны от формируемой области слабого рассеяния, причем к соосным электродам приложены отклоняющие потенциалы противоположной полярности.